ເລເຊີ optical optics ແມ່ນມີຄວາມນິຍົມຫຼາຍໃນ PCB ອ່ອນແລະບາງ supper. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເລເຊີແມ່ນສໍາລັບຄະນະກໍາມະຂອງ Ag etching, ມັນຂໍໃຫ້ຄວາມສອດຄ່ອງ supper ຂອງຂະຫນາດ beam ແລະພື້ນທີ່ຜົນກະທົບຄວາມຮ້ອນແຄບຫຼາຍ. Ftheta ຈະເປັນການອອກແບບທີ່ສັບສົນແລະການເຄືອບ.
Carmanhaas ສະເໜີໃຫ້ເລເຊີ etching optics ເປັນມືອາຊີບ. ອົງປະກອບ optical ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຫມາຍເຖິງອົງປະກອບ optical ທີ່ໃຊ້ໃນການ etching ກະດານວົງຈອນ. ລະບົບ optical ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນໂດຍທົ່ວໄປປະກອບດ້ວຍລະບົບການສະແກນ galvanometer, ລວມທັງ beam expanders, galvanometers ແລະ F-THETA scan lens.
(1) ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງພື້ນຜິວຂອງເລນ < λ/5, ໂຄງການປະກອບຂອງເລນຈຸດປະສົງແມ່ນຕ້ອງການເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສູງຂອງຈຸດທີ່ສອດຄ່ອງ;
(2) ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຈຸດໂຟກັສເຕັມຮູບແບບ > 95%;
(3) ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຍົນ Focal <0.5mm;
(4) ຮູບແບບອັດຕາສ່ວນທາງຍາວໂຟກັສ > 1.05.
ເລນ F-Theta 1064nm
| ລາຍລະອຽດສ່ວນ | ຄວາມຍາວໂຟກັສ (ມມ) | ພາກສະຫນາມສະແກນ (ມມ) | ທາງເຂົ້າສູງສຸດ ນັກຮຽນ (ມມ) | ໄລຍະຫ່າງເຮັດວຽກ(ມມ) | ການຕິດຕັ້ງ ກະທູ້ |
| SL-1064-140-200 | 200 | 140x140 | 14 | 208 | M85x1 |
| SL-1064-185-255-(16CA) | 255 | 185x185 | 16 | 274 | M85x1 |
1064nm Beam Expander
| ລາຍລະອຽດສ່ວນ | ການຂະຫຍາຍຕົວ ອັດຕາສ່ວນ | ປ້ອນ CA (ມມ) | ຜົນຜະລິດ CA (mm) | ທີ່ຢູ່ອາໄສ (ມມ) | ທີ່ຢູ່ອາໄສ ຄວາມຍາວ (ມມ) | ການຕິດຕັ້ງ ກະທູ້ |
| BE-1064-D23:40.5-1.5x | 1.5X | 10 | 20.7 | 27 | 40.5 | M22*0.75 |
| BE4-(1030-1090)-D35:163.9-Z14x | 1X-4X | 20 | 35 | 44 | 163.9 | / |
| BE4-(1030-1090)-D34:162.6-Z210x | 2X-10X | 14 | 34 | 40 | 162.6 | / |
ກະຈົກ 1064nm
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ (ມມ) | ຄວາມຫນາ (ມມ) | ການເຄືອບ |
| 25.4 | 6.35 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
| 30 | 5 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
| 50 | 10 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
